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レジスト材料 貸出可

伊藤 洋／著 -- 共立出版 -- 2005.2 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.7/2005/ 00012910121 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル レジスト材料 ,
書名ヨミ レジスト　ザイリョウ
叢書名 高分子先端材料Ｏｎｅ　Ｐｏｉｎｔ
著者 伊藤 洋 ／著  
著者名ヨミ イトウ,ヒロシ
出版者 共立出版
出版年 2005.2
ページ数, 大きさ 4,104p, 19cm
NDC１０版 549.7
NDC８版 549.7
一般件名 リソグラフィー , 感光性樹脂
著者紹介 東京大学工学系研究科博士課程修了。現在、IBMアルマデン研究所Research Staff Member。主に感光性高分子、レジストの開発研究、高分子合成に従事。
内容紹介 高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。

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