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薄膜作成の基礎 貸出可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2005.7 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.8/2005/ 00011500378 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 薄膜作成の基礎 ,
書名ヨミ ハクマク　サクセイ　ノ　キソ
著者 麻蒔 立男 ／著  
著者名ヨミ アサマキ,タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2005.7
ページ数, 大きさ 13,352p, 21cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 薄膜 , 真空技術
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。現在東京理科大学工学部教授。著書に「真空のはなし」「超微細加工の基礎」など。
内容紹介 前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。96年刊に次ぐ第4版。

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