所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般	一般資料室	501.2/2005/	00011530714	和書	帯出可	在庫

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資料詳細

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目次

1章 本書の構成と使い方

  1・1 センサとマイクロマシン

  1・2 身の回りにあるセンサ

  1・3 新たに発展するマイクロマシン

  1・4 本書の構成と利用法

2章 センサ・マイクロマシンの概要

  2・1 センサ・マイクロマシンとは

  2・2 半導体マイクロマシニング

  2・3 マイクロマシニングの応用

  2・4 センサ・マイクロマシン構成要素とその動作原理

  2・5 設計から性能評価まで

  2・6 センサ・マイクロマシン技術の特徴と意義

  2・7 今後の課題とMEMSの学び方

3章 微細構造製作プロセス技術

  3・1 フォトリソグラフィ技術

  3・2 材料除去加工技術

  3・3 材料付加加工技術

  3・4 3次元構造の製作(マイクロマシニング)

4章 物理センサ

  4・1 物理センサの原理と計測対象

  4・2 磁気センサ

  4・3 温度センサ

  4・4 光センサ

  4・5 機械量センサ

  4・6 物理センサの今後の展開

5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン

  5・1 マイクロアクチュエータとは

  5・2 マイクロアクチュエータの動作原理

  5・3 マイクロアクチュエータの設計

  5・4 マイクロアクチュエータの応用とマイクロマシン

6章 化学センサとマイクロ化学システム

  6・1 化学センサの原理と計測対象

  6・2 ガスセンサ

  6・3 イオンセンサ

  6・4 バイオセンサ

  6・5 感性化学センサ

  6・6 マイクロ化学システム

  6・7 化学センサの今後の展開

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