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1 件中、 1 件目
機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
貸出可
近藤 英一/著 -- 共立出版 -- 2005.10 -- 549.8
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
一般
一般資料室
549.8/2005/
00011541547
和書
帯出可
在庫
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資料詳細
タイトル
機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理 ,
書名ヨミ
キカイ ザイリョウケイ ノ タメ ノ マイクロ ナノ カコウ ノ ゲンリ
著者
近藤 英一
/著
著者名ヨミ
コンドウ,エイイチ
出版者
共立出版
出版年
2005.10
ページ数, 大きさ
9,226p, 21cm
NDC10版
549.8
NDC8版
549.8
一般件名
薄膜
,
ナノテクノロジー
著者紹介
早稲田大学大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員などを経て山梨大学助教授。
内容紹介
気体分子を一種の「工具」としてとらえることを切り口にマイクロ・ナノ加工の物理・化学原理を講述。ドライプロセスの「気体を工具として用いる」原理を中心に解説する。
内容注記
文献:p213
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