資料詳細

半導体のための真空技術入門貸出可

宇津木勝／著 -- 工業調査会 -- 2007.2 -- 549.8

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般	一般資料室	549.8/2007/	00012023966	和書	帯出可	在庫

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資料詳細

タイトル	半導体のための真空技術入門 ,
書名ヨミ	ハンドウタイ　ノ　タメ　ノ　シンクウ　ギジュツ　ニュウモン
副書名	現場で役立つ基礎と応用
著者	宇津木勝／著
著者名ヨミ	ウツギ,マサル
出版者	工業調査会
出版年	2007.2
ページ数, 大きさ	219p, 21cm
NDC１０版	549.8
NDC８版	549.8
一般件名	半導体 , 真空技術
ISBN	978-4-7693-1262-8
著者紹介	1954年生まれ。アプライドマテリアルジャパン(株)勤務等を経て、(有)寺子屋みほ設立、取締役就任。半導体関連の技術教育およびコンサルタント業務を行う。
内容紹介	半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
内容注記	文献：ｐ２１３

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