資料詳細

半導体ＣＭＰ用語事典貸出可

精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編 -- オーム社 -- 2008.10 -- 549.7

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般	一般資料室	549.7/2008/	00012181541	和書	帯出可	在庫

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タイトル	半導体ＣＭＰ用語事典 ,
書名ヨミ	ハンドウタイ　シーエムピー　ヨウゴ　ジテン
著者	精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編
著者名ヨミ	セイミツコウガクカイ
出版者	オーム社
出版年	2008.10
ページ数, 大きさ	7,262p, 19cm
NDC１０版	549.7
NDC８版	549.7
一般件名	集積回路-辞典
ISBN	978-4-274-20612-2
内容紹介	加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。

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