薄膜材料デバイス研究会/編 -- コロナ社 -- 2008.11 -- 549.6

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.6/2008/ 00012197091 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 薄膜トランジスタ ,
書名ヨミ ハクマク トランジスタ
並列タイトル Thin‐Film Transistor
著者 薄膜材料デバイス研究会 /編  
著者名ヨミ ハクマク ザイリョウ デバイス ケンキュウカイ
出版者 コロナ社
出版年 2008.11
ページ数, 大きさ 8,229p, 21cm
NDC10版 549.6
NDC8版 549.6
一般件名 薄膜トランジスタ
ISBN 978-4-339-00802-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
注記 欧文タイトル:Thin‐Film Transistor
内容紹介 近年発展目覚しい薄膜トランジスタ(TFT)について、概論および発展史から動作原理、作製技術、各種評価技術、劣化現象や信頼性評価技術、応用技術や将来技術に至るまで、広範囲な知識を系統的に解説する。
内容注記 文献:p215〜224

目次

1.序論
  1.1 薄膜トランジスタ(TFT)とはなにか
  1.2 TFT発展の歴史
2.TFTの動作原理
  2.1 基本的な動作原理
  2.2 基礎知識
  2.3 捕獲準位
  2.4 より詳しい動作原理
  2.5 種々のTFT
3.TFT作製技術
  3.1 トップゲート構造およびボトムゲート構造
  3.2 水素化非晶質シリコンTFT作製技術
  3.3 多結晶シリコンTFT作製技術
  3.4 有機TFT作製技術
  3.5 酸化物TFT作製技術
4.評価技術
  4.1 膜厚
  4.2 構造評価
  4.3 組成分析
  4.4 光学評価
  4.5 電気特性
5.TFTの劣化現象と信頼性評価技術
  5.1 非晶質シリコンTFTにおける劣化現象
  5.2 低温多結晶シリコンTFTにおける劣化現象
  5.3 酸化物TFTにおける劣化現象
6.TFTの応用技術
  6.1 TFTのディスプレイ応用
  6.2 TFTのセンサ応用
7.TFTの将来技術
  7.1 映像ディスプレイ用TFT技術の将来
  7.2 フレキシブルディスプレイ用TFT技術の将来