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図解半導体製造装置開発の極意と実践貸出可

辻村学／著 -- 工業調査会 -- 2008.12 -- 549.8

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般	一般資料室	549.8/2008/	00012191532	和書	帯出可	在庫

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タイトル	図解半導体製造装置開発の極意と実践 ,
書名ヨミ	ズカイ　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　カイハツ　ノ　ゴクイ　ト　ジッセン
副書名	開発型企業で生き抜くための手引書
著者	辻村学／著
著者名ヨミ	ツジムラ,マナブ
出版者	工業調査会
出版年	2008.12
ページ数, 大きさ	188p, 21cm
NDC１０版	549.8
NDC８版	549.8
一般件名	半導体
ISBN	978-4-7693-1278-9
内容紹介	半導体製造用装置の開発及び事業に携わってきた著者が、30年間の開発の歴史の中で実施した5つの革命技術や、開発の5つのルール、特許と論文の書き方などを伝授する。
内容注記	文献：ｐ１８５

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