權田 俊一/編集 -- 丸善 -- 2009.11 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.8/2009/1 00012260626 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 半導体デバイスシリーズ 1,
書名ヨミ ハンドウタイ デバイス シリーズ
各巻書名 集積ナノデバイス
著者 權田 俊一 /編集, 谷口 研二 /編集  
著者名ヨミ ゴンダ,シュンイチ , タニグチ,ケンジ
出版者 丸善
出版年 2009.11
ページ数, 大きさ 17,227p, 21cm
NDC10版 549.8
NDC8版 549.8
一般件名 半導体
ISBN 978-4-621-08208-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
著者紹介 大阪大学名誉教授。
内容紹介 ナノスケールVLSIデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法を解説する。ナノ領域における開発現場での応用と着目点、解決すべき問題をまとめたテキスト。
内容注記 文献:章末