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マイクロセンサ工学 貸出可

室 英夫／編著 -- 技術評論社 -- 2009.8 -- 501.22

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 501.2/2009/ 00012538039 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル マイクロセンサ工学 ,
書名ヨミ マイクロセンサ コウガク
叢書名 現場の即戦力
著者 室 英夫 ／編著, 藍 光郎 ／著, 石垣 武夫 ／著, 石森 義雄 ／著, 岡山 努 ／著  
著者名ヨミ ムロ,ヒデオ , アイ,ミツオ , イシガキ,タケオ , イシモリ,ヨシオ , オカヤマ,ツトム
出版者 技術評論社
出版年 2009.8
ページ数, 大きさ 12,234p, 21cm
NDC１０版 501.22
NDC８版 501.22
一般件名 センサ
ISBN 978-4-7741-3904-3 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
著者紹介 東京大学大学院工学研究科修士課程修了。日産自動車(株)中央研究所で半導体センサの研究開発に従事。2006年より千葉工業大学教授。共著に「次世代センサハンドブック」など。
内容紹介 センサの基本的な分類と各種変換効果、MEMSセンサを製造するためのマイクロマシーニング技術、各センサに共通の信号処理回路を解説するほか、「光センサ」「機械量センサ」「流体センサ」など、センサ各論も収録する。

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