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よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み 貸出可

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2011.10 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.7/2011/ 00012425658 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み ,
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ
副書名 リソグラフィ技術の核心に迫る
叢書名 図解入門
著者 佐藤 淳一 ／著  
著者名ヨミ サトウ,ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年 2011.10
ページ数, 大きさ 271p, 21cm
NDC１０版 549.7
NDC８版 549.7
一般件名 リソグラフィー , 半導体
ISBN 978-4-7980-3063-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「半導体の基礎強化書」など。
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。

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