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はじめての半導体ドライエッチング技術 貸出可

野尻 一男／著 -- 技術評論社 -- 2012.1 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.8/2012/ 00012533030 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル はじめての半導体ドライエッチング技術 ,
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
叢書名 現場の即戦力
著者 野尻 一男 ／著  
著者名ヨミ ノジリ,カズオ
出版者 技術評論社
出版年 2012.1
ページ数, 大きさ 8,162p, 21cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 半導体
ISBN 978-4-7741-4940-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
著者紹介 群馬大学大学院研究科修士課程修了。(株)日立製作所技術開発のリーダーなどを経て、ラムリサーチ(株)取締役・CTO。共著に「先端電気化学」など。
内容紹介 ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。

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