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はじめての半導体リソグラフィ技術 貸出可

岡崎 信次／著 -- 技術評論社 -- 2012.1 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.7/2012/ 00012533022 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル はじめての半導体リソグラフィ技術 ,
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
叢書名 現場の即戦力
著者 岡崎 信次 ／著, 鈴木 章義 ／著, 上野 巧 ／著  
著者名ヨミ オカザキ,シンジ , スズキ,アキヨシ , ウエノ,タクミ
出版者 技術評論社
出版年 2012.1
ページ数, 大きさ 10,301p, 21cm
NDC１０版 549.7
NDC８版 549.7
一般件名 リソグラフィー , 半導体
ISBN 978-4-7741-4939-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
注記 工業調査会 2003年刊の改訂
著者紹介 (株)ギガフォトンからEUVAに出向。IEEEフェロー、SPIEフェロー。
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べ、リソグラフィ技術を支えるマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる入門書。液浸露光技術、ダブルパターニング技術を加えた改訂版。

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