日本半導体製造装置協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 1991.11 --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.8/91/ 00005753868 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 「半導体立国」日本 ,
書名ヨミ ハンドウタイ リッコク ニホン
副書名 独創的な装置が築きあげた記録
著者 日本半導体製造装置協会 /編  
著者名ヨミ ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1991.11
ページ数, 大きさ 403p, 20cm
NDC8版 549.8
一般件名 半導体
注記 監修:垂井康夫