徳山 巍/編著 -- オーム社 -- 1997.2 --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.8/97/ 00003274875 和書 帯出可 在庫

資料詳細

タイトル 超微細加工技術
書名ヨミ チョウビサイ カコウ ギジュツ
叢書名 応用物理学シリーズ
著者 徳山 巍 /編著  
著者名ヨミ トクヤマ タカシ
出版者 オーム社
出版年 1997.2
ページ数, 大きさ 309p, 22cm
NDC8版 549.8
一般件名 半導体