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超微細加工技術
貸出可
徳山 巍/編著 -- オーム社 -- 1997.2 -- 549.8
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
一般
公開書庫西
549.8/97/
00003274875
和書
帯出可
在庫
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資料詳細
タイトル
超微細加工技術 ,
書名ヨミ
チョウビサイ カコウ ギジュツ
叢書名
応用物理学シリーズ
著者
徳山 巍
/編著
著者名ヨミ
トクヤマ,タカシ
出版者
オーム社
出版年
1997.2
ページ数, 大きさ
309p, 22cm
NDC10版
549.8
NDC8版
549.8
一般件名
半導体
内容紹介
1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シミュレーション技術 ほか1章
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