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ＵＬＳＩプロセス技術 貸出可

原 央／編 -- 培風館 -- 1997.6 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.7/97/ 00007944820 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル ＵＬＳＩプロセス技術 ,
書名ヨミ ユーエルエスアイ　プロセス　ギジュツ
叢書名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ
著者 原 央 ／編  
著者名ヨミ ハラ,ヒサシ
出版者 培風館
出版年 1997.6
ページ数, 大きさ 286p, 22cm
NDC１０版 549.7
NDC８版 549.7
一般件名 集積回路
内容紹介 再先端の集積回路を実現するために必要な広範囲なプロセス技術に関する解説書。はじめに素子構造とプロセスの概略を説明、次に微細加工、薄膜堆積、酸化膜など各プロセス技術ごとに詳細に説明、最後に将来動向に触れる。

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