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超高真空 貸出可

清水 肇／[ほか]編著 -- オーム社 -- 1997.11 -- 534.93

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 534.9/97/ 00008044422 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 超高真空 ,
書名ヨミ チョウコウシンクウ
叢書名 テクノライフ選書
著者 清水 肇 ／[ほか]編著  
著者名ヨミ シミズ,ハジメ
出版者 オーム社
出版年 1997.11
ページ数, 大きさ 141p, 19cm
NDC１０版 534.93
NDC８版 534.93
一般件名 真空技術
内容紹介 加速器、核融合といったビッグサイエンスから電子デバイスの開発、表面科学などたくさんの研究開発を支える基盤技術-超高真空。エレクトロニクス分野で不可欠となった超高真空の技術と新発見を解き明かす。

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