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ＬＩＧＡプロセス 貸出可

先端加工機械技術振興協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1998.8 -- 532

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 532/98/ 00008201543 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル ＬＩＧＡプロセス ,
書名ヨミ リガ　プロセス
副書名 進展する三次元超微細加工技術
著者 先端加工機械技術振興協会 ／編  
著者名ヨミ センタン カコウ キカイ ギジュツ シンコウ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1998.8
ページ数, 大きさ 272,4p, 22cm
NDC１０版 532
NDC８版 532
一般件名 機械工作
注記 監修：中島尚正　梅田章
内容紹介 LIGA技術の原理と歴史的変遷、実際の製作工程と要素技術、試作された応用例、国内外のLIGA関連施設、LIGA技術の経済性と市場性の将来展望など、LIGA技術を基礎から応用までまとめる。

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