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超精密加工技術 貸出可

日本機械学会／編 -- コロナ社 -- 1998.11 -- 532

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 532/98/ 00008228421 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 超精密加工技術 ,
書名ヨミ チョウ　セイミツ　カコウ　ギジュツ
叢書名 超精密シリーズ
著者 日本機械学会 ／編  
著者名ヨミ ニホン キカイ ガッカイ
出版者 コロナ社
出版年 1998.11
ページ数, 大きさ 200p, 22cm
NDC１０版 532
NDC８版 532
一般件名 機械工作
内容紹介 1.超精密加工の必要性 2.超精密加工機械 3.超精密切削 4.超精密研削 5.超精密ポリシング 6.リソグラフィおよびエッチング 7.高精度プラスチックレンズ

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