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1 件中、 1 件目
二次イオン質量分析法
貸出可
-- 丸善 -- 1999.7 -- 428.4
SDI
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所蔵
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
一般
公開書庫東
428.4/99/
00008393233
和書
帯出可
在庫
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資料詳細
タイトル
二次イオン質量分析法 ,
書名ヨミ
ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ
叢書名
表面分析技術選書
出版者
丸善
出版年
1999.7
ページ数, 大きさ
7,195p, 21cm
NDC10版
428.4
NDC8版
428.4
一般件名
表面(工学)
,
イオンビーム
,
質量分析
内容紹介
現場の分析実務技術者、材料及び各種機能デバイスの開発に従事している技術者を対象とした、表面分析法として位置づけが明確になっているSIMS(二次イオン質量分析法)の実用書。
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