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超精密洗浄技術の開発 貸出可

角田 光雄／監修 -- シーエムシー -- 2000.9 -- 576.5

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 576.5/2000/ 00008604597 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 超精密洗浄技術の開発 ,
書名ヨミ チョウセイミツ　センジョウ　ギジュツ　ノ　カイハツ
叢書名 ＣＭＣ　ｂｏｏｋｓ
著者 角田 光雄 ／監修  
著者名ヨミ ツノダ,テルオ
出版者 シーエムシー
出版年 2000.9
ページ数, 大きさ 247p, 21cm
NDC１０版 576.5
NDC８版 576.5
一般件名 洗浄法
注記 初版の書名：超精密洗浄技術
内容紹介 精密洗浄と超精密洗浄に関し、定義・メカニズム・評価から様々な洗浄システムの解説及び有機溶剤系・水系・アルコール系などの洗浄剤の動向等を詳述。92年刊「超精密洗浄技術」の普及版。

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