資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

半導体製造装置用語辞典 禁帯出

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2000.11 -- 549.8

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 書庫・職員へ 549.8/2000/ 00009236951 和書 禁帯出 在庫 iLisvirtual

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル 半導体製造装置用語辞典 ,
書名ヨミ ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　ヨウゴ　ジテン
著者 日本半導体製造装置協会 ／編  
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2000.11
ページ数, 大きさ 588p, 22cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 半導体-辞典
内容紹介 半導体産業の発展は日本の産業基盤強化に大きく寄与し、経済への波及効果も非情に大きい。急速な技術進展を背景に、21世紀の新技術に適用できる用語辞典をめざす。97年刊に次ぐ改訂第5版。

ページの先頭へ