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1 件中、 1 件目
すぐ使える洗浄技術
貸出可
工業調査会/編 -- 工業調査会 -- 2001.8 -- 576.5
SDI
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所蔵
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
一般
一般資料室
576.5/2001/
00008793416
和書
帯出可
在庫
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資料詳細
タイトル
すぐ使える洗浄技術 ,
書名ヨミ
スグ ツカエル センジョウ ギジュツ
副書名
装置・洗浄剤の機能と特徴
著者
工業調査会
/編
著者名ヨミ
コウギョウ チョウサカイ
出版者
工業調査会
出版年
2001.8
ページ数, 大きさ
358p, 21cm
NDC10版
576.5
NDC8版
576.5
一般件名
洗浄法
内容紹介
洗浄装置と洗浄剤を中心に、洗浄装置の抱える技術課題や解決方法、装置選定のポイントの他、代表的な洗浄装置、代替洗浄剤について、それぞれ専門技術者が詳細に解説する。半導体・液晶製造現場の代替洗浄の事例も紹介。
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