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はじめての半導体洗浄技術 貸出可

小川 洋輝／著 -- 工業調査会 -- 2002.3 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.8/2002/ 00008918765 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル はじめての半導体洗浄技術 ,
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハンドウタイ　センジョウ　ギジュツ
叢書名 ビギナーズブックス
著者 小川 洋輝 ／著, 堀池 靖浩 ／著  
著者名ヨミ オガワ,ヒロキ , ホリイケ,ヤスヒロ
出版者 工業調査会
出版年 2002.3
ページ数, 大きさ 276p, 21cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 半導体 , 洗浄法
内容紹介 超LSIはクリーンネスとの闘いである。半導体洗浄技術の全貌について、技術の位置づけ、歴史、基礎的事項、具体的手法、評価法、今後の展望までを詳細に解説する。

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