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真空ハンドブック 禁帯出

アルバック／編 -- オーム社 -- 2002.7 -- 534.93

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 書庫・職員へ 534.9/2002/ 00011852951 和書 禁帯出 在庫 iLisvirtual

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タイトル 真空ハンドブック ,
書名ヨミ シンクウ　ハンドブック
著者 アルバック ／編  
著者名ヨミ アルバック
出版者 オーム社
出版年 2002.7
ページ数, 大きさ 331p, 27cm
NDC１０版 534.93
NDC８版 534.93
一般件名 真空技術-便覧
注記 付：表（４枚）
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。

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