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トコトンやさしい超微細加工の本 貸出可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.1 -- 549

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549/2004/ 00011245941 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル トコトンやさしい超微細加工の本 ,
書名ヨミ トコトン　ヤサシイ　チョウビサイ　カコウ　ノ　ホン
叢書名 Ｂ＆Ｔブックス
著者 麻蒔 立男 ／著  
著者名ヨミ アサマキ,タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.1
ページ数, 大きさ 159p, 21cm
NDC１０版 549
NDC８版 549
一般件名 電子工学 , ナノテクノロジー
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン(現、アネルバ)設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。

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