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進化するマイクロマシン 貸出可

マイクロマシンセンター／監修 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.11 -- 530

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 530/2004/ 00011374592 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 進化するマイクロマシン ,
書名ヨミ シンカ　スル　マイクロマシン
副書名 産業化のロードマップとナノとの融合
著者 マイクロマシンセンター ／監修, μM産業化研究会 ／編  
著者名ヨミ マイクロマシン センター , ミューエム サンギョウカ ケンキュウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.11
ページ数, 大きさ 295p, 21cm
NDC１０版 530
NDC８版 530
一般件名 マイクロマシン
内容紹介 マイクロマシン産業化のこれまでの展開や、MEMS・デバイス技術などマイクロマシン技術の現状と展望、ナノテクノロジーとの融合、応用分野の将来展望などから、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説。

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