資料詳細

真空科学ハンドブック貸出可

日本真空学会／編 -- コロナ社 -- 2018.3 -- 534.93

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般	一般資料室	534.9/2018/	00014473912	和書	帯出可	在庫

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資料詳細

タイトル	真空科学ハンドブック ,
書名ヨミ	シンクウカガクハンドブック
著者	日本真空学会／編
著者名ヨミ	ニホンシンクウガッカイ
出版者	コロナ社
出版年	2018.3
ページ数, 大きさ	8,578p, 27cm
NDC１０版	534.93
NDC８版	534.93
一般件名	真空技術
ISBN	978-4-339-00908-8
内容紹介	真空の科学的基礎を解説。また、成膜、プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き、極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介する。

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