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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 貸出可

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2019.12 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.8/2019/ 00013880638 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ,
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ
副書名 ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
叢書名 図解入門
著者 佐藤 淳一 ／著  
著者名ヨミ サトウ,ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年 2019.12
ページ数, 大きさ 261p, 21cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 半導体
ISBN 978-4-7980-6037-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。

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