大分県立図書館 蔵書検索
県立図書館ホームページへ
蔵書検索トップ
詳細検索
ブックリスト
Myライブラリ
レファレンス
機能紹介
本サイトにはJavaScriptの利用を前提とした機能がございます。
お客様の環境では一部の機能がご利用いただけない可能性がございますので、ご了承ください。
本サイトではCookieを使用しています。ブラウザの設定でCookieを有効にしてください。
資料詳細
詳細検索
ジャンル検索
1 件中、 1 件目
はじめての半導体ドライエッチング技術
貸出可
野尻 一男/著 -- 技術評論社 -- 2020.11 -- 549.8
SDI
予約かごへ
本棚へ
所蔵
所蔵は
1
件です。現在の予約件数は
0
件です。
所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
一般
一般資料室
549.8/2020/
00013970256
和書
帯出可
在庫
ページの先頭へ
資料詳細
タイトル
はじめての半導体ドライエッチング技術 ,
書名ヨミ
ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
叢書名
現場の即戦力
著者
野尻 一男
/著
著者名ヨミ
ノジリ,カズオ
出版者
技術評論社
出版年
2020.11
ページ数, 大きさ
10,188p, 21cm
NDC10版
549.8
NDC8版
549.8
一般件名
半導体
ISBN
978-4-297-11599-9
著者紹介
群馬大学大学院工学研究科修士課程修了。(株)日立製作所、ラムリサーチ(株)を経て独立。ナノテクリサーチ代表。共著に「先端電気化学」など。
内容紹介
ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。基礎から装置、最先端の応用技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
ページの先頭へ