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1 件中、 1 件目
レジスト材料
貸出可
伊藤 洋/著 -- 共立出版 -- 2005.2 -- 549.7
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
一般
一般資料室
549.7/2005/
00012910121
和書
帯出可
在庫
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資料詳細
タイトル
レジスト材料 ,
書名ヨミ
レジスト ザイリョウ
叢書名
高分子先端材料One Point
著者
伊藤 洋
/著
著者名ヨミ
イトウ,ヒロシ
出版者
共立出版
出版年
2005.2
ページ数, 大きさ
4,104p, 19cm
NDC10版
549.7
NDC8版
549.7
一般件名
リソグラフィー
,
感光性樹脂
著者紹介
東京大学工学系研究科博士課程修了。現在、IBMアルマデン研究所Research Staff Member。主に感光性高分子、レジストの開発研究、高分子合成に従事。
内容紹介
高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。
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