資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

はじめての薄膜作製技術 貸出可

草野 英二／著 -- 工業調査会 -- 2006.3 -- 549.8

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.8/2006/ 00011590056 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル はじめての薄膜作製技術 ,
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハクマク　サクセイ　ギジュツ
叢書名 ビギナーズブックス
著者 草野 英二 ／著  
著者名ヨミ クサノ,エイジ
出版者 工業調査会
出版年 2006.3
ページ数, 大きさ 191p, 21cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 薄膜
著者紹介 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学教授。日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長。
内容紹介 コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。

ページの先頭へ