資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

半導体製造装置用語辞典 禁帯出

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2006.9 -- 549.8

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
調査 調査相談 549.8/2006/ 00011891892 和書 禁帯出 在庫 iLisvirtual

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル 半導体製造装置用語辞典 ,
書名ヨミ ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　ヨウゴ　ジテン
著者 日本半導体製造装置協会 ／編  
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2006.9
ページ数, 大きさ 10,564p, 21cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 半導体-辞典
内容紹介 設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する7つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を215語追加した第6版。

ページの先頭へ