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1 件中、 1 件目
半導体のための真空技術入門
貸出可
宇津木 勝/著 -- 工業調査会 -- 2007.2 -- 549.8
SDI
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
一般
一般資料室
549.8/2007/
00012023966
和書
帯出可
在庫
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資料詳細
タイトル
半導体のための真空技術入門 ,
書名ヨミ
ハンドウタイ ノ タメ ノ シンクウ ギジュツ ニュウモン
副書名
現場で役立つ基礎と応用
著者
宇津木 勝
/著
著者名ヨミ
ウツギ,マサル
出版者
工業調査会
出版年
2007.2
ページ数, 大きさ
219p, 21cm
NDC10版
549.8
NDC8版
549.8
一般件名
半導体
,
真空技術
ISBN
978-4-7693-1262-8
著者紹介
1954年生まれ。アプライドマテリアルジャパン(株)勤務等を経て、(有)寺子屋みほ設立、取締役就任。半導体関連の技術教育およびコンサルタント業務を行う。
内容紹介
半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
内容注記
文献:p213
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