資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

はじめての半導体製造装置 貸出可

前田 和夫／著 -- 技術評論社 -- 2011.8 -- 549.8

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.8/2011/ 00012538179 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル はじめての半導体製造装置 ,
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
叢書名 現場の即戦力
著者 前田 和夫 ／著  
著者名ヨミ マエダ,カズオ
出版者 技術評論社
出版年 2011.8
ページ数, 大きさ 11,249p, 21cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 半導体
ISBN 978-4-7741-4750-5 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
注記 工業調査会 1999年刊の再刊
著者紹介 横浜国立大学工学部化学工学科卒業。工学博士。(株)半導体プロセス研究所設立。米国SEMI(半導体装置材料協会)よりSEMMY賞授与。2008年逝去。
内容紹介 半導体デバイスの製造工程との関わりから、技術史、種類と役割、構成と方式、各装置の概要まで、半導体製造装置に関わる知識を解説。半導体製造装置技術のロードマップ、21世紀の半導体製造装置なども紹介する。

ページの先頭へ