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プラズマプロセス技術 貸出可

プラズマ・核融合学会／編 -- 森北出版 -- 2017.1 -- 501.4

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 501.4/2017/ 00014185243 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル プラズマプロセス技術 ,
書名ヨミ プラズマ プロセス ギジュツ
副書名 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者 プラズマ・核融合学会 ／編  
著者名ヨミ プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ
出版者 森北出版
出版年 2017.1
ページ数, 大きさ 7,273p, 22cm
NDC１０版 501.4
NDC８版 501.4
一般件名 材料科学 , プラズマ物理学
ISBN 978-4-627-77561-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
内容紹介 超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。

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