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スパタリング現象 貸出可

金原粲／著 -- 東京大学出版会 -- １９８４．３ --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549/84/ 00005647565 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル スパタリング現象 ,
書名ヨミ スパタリング　ゲンショウ
副書名 基礎と薄膜・コーティング技術への応用
著者 金原粲 ／著  
著者名ヨミ キンバラ　アキラ
出版者 東京大学出版会
出版年 １９８４．３
ページ数, 大きさ ２３１ｐ, ２２ｃｍ
NDC８版 549
一般件名 薄膜
内容注記 各章末：参考文献　一般参考書：ｐ２２６

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