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微細加工とレジスト 貸出可

野々垣三郎／著 -- 共立出版 -- １９８７．１１ --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.7/87/ 00005870407 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 微細加工とレジスト ,
書名ヨミ ビサイ　カコウ　ト　レジスト
叢書名 高分子新素材ｏｎｅ　ｐｏｉｎｔ
著者 野々垣三郎 ／著  
著者名ヨミ ノノガキ　サブロウ
出版者 共立出版
出版年 １９８７．１１
ページ数, 大きさ ９９ｐ, １９ｃｍ
NDC８版 549.7
一般件名 集積回路 , 電子光学
注記 叢書の編者：高分子学会

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