資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

半導体ドライエッチング技術 貸出可

徳山巍／編著 -- 産業図書 -- １９９２．１０ --

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.7/92/ 00004541280 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル 半導体ドライエッチング技術 ,
書名ヨミ ハンドウタイ　ドライ　エッチング　ギジュツ
叢書名 集積回路プロセス技術シリーズ
著者 徳山巍 ／編著  
著者名ヨミ トクヤマ　タカシ
出版者 産業図書
出版年 １９９２．１０
ページ数, 大きさ ３９４ｐ, ２２ｃｍ
NDC８版 549.8
一般件名 半導体
内容注記 各章末：文献

ページの先頭へ