岩松誠一/著 -- 工業調査会 -- 1993.1 --

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.8/93/ 00004567483 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

資料詳細

タイトル ここまできた半導体清浄化技術 ,
書名ヨミ ココマデ キタ ハンドウタイ セイジョウカ ギジュツ
副書名 スーパークリーンテクノロジー実現
叢書名 K books series
著者 岩松誠一 /著  
著者名ヨミ イワマツ セイイチ
出版者 工業調査会
出版年 1993.1
ページ数, 大きさ 162p, 19cm
NDC8版 549.8
一般件名 半導体
内容注記 各章末:参考文献