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ウルトラクリーンＵＬＳＩ技術 貸出可

大見 忠弘／著 -- 培風館 -- 1995.12 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.7/95/ 00002688505 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル ウルトラクリーンＵＬＳＩ技術 ,
書名ヨミ ウルトラ　クリーン　ユーエルエスアイ　ギジュツ
叢書名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ
著者 大見 忠弘 ／著  
著者名ヨミ オオミ,タダヒロ
出版者 培風館
出版年 1995.12
ページ数, 大きさ 366p, 22cm
NDC１０版 549.7
NDC８版 549.7
一般件名 集積回路
内容紹介 幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者がクリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説。

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