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超精密形状計測技術 貸出可

日本機械学会／編 -- コロナ社 -- 1996.12 -- 501.22

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 501.2/96/ 00002922953 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 超精密形状計測技術 ,
書名ヨミ チョウセイミツ　ケイジョウ　ケイソク　ギジュツ
叢書名 超精密シリーズ
著者 日本機械学会 ／編  
著者名ヨミ ニホン キカイ ガッカイ
出版者 コロナ社
出版年 1996.12
ページ数, 大きさ 172p, 22cm
NDC１０版 501.22
NDC８版 501.22
一般件名 精密測定
内容紹介 超精密計測の基本的概念、表面微細形状計測技術、SPMによる超精密形状計測技術について述べる。

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