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マイクロ加工の物理と応用 貸出可

吉田 善一／著 -- 裳華房 -- 1998.3 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.7/98/ 00008119414 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル マイクロ加工の物理と応用 ,
書名ヨミ マイクロ　カコウ　ノ　ブツリ　ト　オウヨウ
叢書名 応用物理学選書
著者 吉田 善一 ／著  
著者名ヨミ ヨシダ,ヨシカズ
出版者 裳華房
出版年 1998.3
ページ数, 大きさ 234p, 22cm
NDC１０版 549.7
NDC８版 549.7
一般件名 集積回路 , 電子光学
内容紹介 マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように書かれた入門書。マイクロ加工を工業に応用するときに必要な原理と、素子やプロセス装置を設計するときの基礎知識を提供する。

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