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ビジュアル真空技術 貸出可

平谷 雄二／著 -- コロナ社 -- 2001.10 -- 534.93

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 534.9/2001/ 00008806382 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル ビジュアル真空技術 ,
書名ヨミ ビジュアル　シンクウ　ギジュツ
著者 平谷 雄二 ／著  
著者名ヨミ ヒラタニ,ユウジ
出版者 コロナ社
出版年 2001.10
ページ数, 大きさ 193p, 21cm
NDC１０版 534.93
NDC８版 534.93
一般件名 真空技術
著者紹介 東北大学大学院工学研究科博士課程修了(電子工学専攻)。古河電気工業(株)入社、現在に至る。東北大学工学博士。
内容紹介 真空装置を使って結晶成長、薄膜を形成する研究室や職場に新しく配属された人を対象にした書。真空装置の心臓部のポンプと感覚器官にあたる真空計について述べる。真空技術でよく使われる式を導出し、適宜演習問題を付す。

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