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1 件中、 1 件目
薄膜化技術
貸出可
和佐 清孝/著 -- 共立出版 -- 2002.6 -- 549.8
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
一般
一般資料室
549.8/2002/
00008978462
和書
帯出可
在庫
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資料詳細
タイトル
薄膜化技術 ,
書名ヨミ
ハクマクカ ギジュツ
著者
和佐 清孝
/著,
早川 茂
/著
著者名ヨミ
ワサ,キヨタカ , ハヤカワ,シゲル
出版者
共立出版
出版年
2002.6
ページ数, 大きさ
316p, 22cm
NDC10版
549.8
NDC8版
549.8
一般件名
薄膜
著者紹介
横浜市立大学理学部客員教授。共著に「強誘電性と高温超伝導」他。
内容紹介
原子スケールでの材料技術を特徴としている薄膜は、ナノスケール素材・デバイス形成の要素技術であり、エレクトロニクスや環境技術分野で重要である。基礎科学的視点を追加し、最新のデータを増補した、92年刊に次ぐ第3版。
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