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進化するマイクロマシン
貸出可
マイクロマシンセンター/監修 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.11 -- 530
SDI
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
一般
一般資料室
530/2004/
00011374592
和書
帯出可
在庫
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資料詳細
タイトル
進化するマイクロマシン ,
書名ヨミ
シンカ スル マイクロマシン
副書名
産業化のロードマップとナノとの融合
著者
マイクロマシンセンター
/監修,
μM産業化研究会
/編
著者名ヨミ
マイクロマシン センター , ミューエム サンギョウカ ケンキュウカイ
出版者
日刊工業新聞社
出版年
2004.11
ページ数, 大きさ
295p, 21cm
NDC10版
530
NDC8版
530
一般件名
マイクロマシン
内容紹介
マイクロマシン産業化のこれまでの展開や、MEMS・デバイス技術などマイクロマシン技術の現状と展望、ナノテクノロジーとの融合、応用分野の将来展望などから、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説。
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