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1 件中、 1 件目
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
貸出可
佐藤 淳一/著 -- 秀和システム -- 2019.12 -- 549.8
SDI
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
一般
一般資料室
549.8/2019/
00013880638
和書
帯出可
在庫
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資料詳細
タイトル
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ,
書名ヨミ
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ
副書名
ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
叢書名
図解入門
著者
佐藤 淳一
/著
著者名ヨミ
サトウ,ジュンイチ
出版者
秀和システム
出版年
2019.12
ページ数, 大きさ
261p, 21cm
NDC10版
549.8
NDC8版
549.8
一般件名
半導体
ISBN
978-4-7980-6037-8
著者紹介
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
内容紹介
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
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