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センサ・マイクロマシン工学 貸出可

藤田 博之／編著 -- オーム社 -- 2005.10 -- 501.22

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 501.2/2005/ 00011530714 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル センサ・マイクロマシン工学 ,
書名ヨミ センサ　マイクロマシン　コウガク
叢書名 ＥＥ　ｔｅｘｔ
著者 藤田 博之 ／編著  
著者名ヨミ フジタ,ヒロユキ
出版者 オーム社
出版年 2005.10
ページ数, 大きさ 8,209p, 26cm
NDC１０版 501.22
NDC８版 501.22
一般件名 センサ , マイクロマシン
著者紹介 東京大学大学院電気工学専門課程博士課程修了。工学博士。東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター長教授。
内容紹介 センサとマイクロマシンに関して、その動作原理やつくり方からさまざまな応用に至るまでをわかりやすくまとめた教科書。センサとマイクロマシンをつくる基盤技術、半導体技術を拡張した微細加工法についても述べる。
内容注記 文献：ｐ１９９〜２０４

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