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機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理 貸出可

近藤 英一／著 -- 共立出版 -- 2005.10 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.8/2005/ 00011541547 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理 ,
書名ヨミ キカイ　ザイリョウケイ　ノ　タメ　ノ　マイクロ　ナノ　カコウ　ノ　ゲンリ
著者 近藤 英一 ／著  
著者名ヨミ コンドウ,エイイチ
出版者 共立出版
出版年 2005.10
ページ数, 大きさ 9,226p, 21cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 薄膜 , ナノテクノロジー
著者紹介 早稲田大学大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員などを経て山梨大学助教授。
内容紹介 気体分子を一種の「工具」としてとらえることを切り口にマイクロ・ナノ加工の物理・化学原理を講述。ドライプロセスの「気体を工具として用いる」原理を中心に解説する。
内容注記 文献：ｐ２１３

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