資料詳細

図解でわかる半導体製造装置貸出可

菊地正典／監修 -- 日本実業出版社 -- 2007.4 -- 549.8

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般	一般資料室	549.8/2007/	00012042875	和書	帯出可	在庫

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タイトル	図解でわかる半導体製造装置 ,
書名ヨミ	ズカイ　デ　ワカル　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ
著者	菊地正典／監修
著者名ヨミ	キクチ,マサノリ
出版者	日本実業出版社
出版年	2007.4
ページ数, 大きさ	182p, 21cm
NDC１０版	549.8
NDC８版	549.8
一般件名	半導体
ISBN	978-4-534-04217-0
内容紹介	「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。

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